半導體冷水機是指 應用在半導體領域，如掃描光刻機、微納坐標測量機、掃描探針顯微鏡等超精密儀器的高精度冷水機組。

    半導體冷水機的出現以及廣泛應用，是隨著科技的不斷發(fā)展，現代超精密制造、加工、測量儀器對工作環(huán)境提出了苛刻要求，尤其是以光刻機為代表的超大規(guī)模集成電路制造設備，其高集成度導致常規(guī)散熱方法遠遠不能滿足要求，同時投影物鏡的光刻質量、運動部件的定位精度以及測量裝置的測量精度等都對環(huán)境參數的變化特別是溫度的變化尤為敏感。因此，環(huán)境參數尤其是溫度的控制成為一項關鍵問題，而半導體冷水機的出現正好解決了這一難題。

　半導體冷水機溫度控制系統是保證步進掃描光刻機、微納坐標測量機、掃描探針顯微鏡等超精密儀器設備良好工作狀態(tài)的重要組成單元。